Canon-machinery FPA-5510iZ 步進式光刻機對應(yīng)粗糙層(Rough Layer) 的高生產(chǎn)效率i-線曝光裝置。
對應(yīng)高生產(chǎn)效率的光學(xué)系統(tǒng)
已實現(xiàn)高生產(chǎn)效率的高照度照明系統(tǒng)的進一步改良
采用高亮度水銀燈
采用已擁有業(yè)績的FPA-5000系列工作臺(platform)
采用可靠性高的FPA-5500系列工作臺(platform) 確保裝置穩(wěn)定運行
實現(xiàn)了高精度對位性能
降低芯片因受曝光熱產(chǎn)生變形的對策
平臺空間氣流控制的最佳化
投片率的進一步提高
采用已實現(xiàn)高生產(chǎn)效率的新型芯片臺
聯(lián)系人:黃文俊
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