Canon-machinery I-1230 步進式光刻機
用于存儲器布線成膜(Memory Wiring Deposition)的大規(guī)模量產(chǎn)化PVD設備(12“硅片)。
I-1230用于半導體存儲器互連行業(yè)的傳導金屬加工處理。我們獨創(chuàng)的Caera陰極技術在反應性放電或者在高應力材料處理情況下都能保證良好的均一性及極少量particle的產(chǎn)生。擁有這些功能,I-1230能夠實現(xiàn)高成品率及高生產(chǎn)率,可大大降低生產(chǎn)成本。
AELA陰極:通過in-situ每個制程工藝(RECIPE)的調(diào)整,可以方便的對陰極磁鐵位置(3軸)的可變均一性、清潔做到最優(yōu)化調(diào)節(jié)處理。
生產(chǎn)量: 80wfs/H 達到世界最高水準
運轉率:>90% 半導體存儲器生產(chǎn)線(故障率<1%)
聯(lián)系人:黃文俊
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