晶圓瑕疵檢測是半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的一環(huán)。晶圓在清洗過程，會(huì)去除掉光刻膠、有機(jī)物質(zhì)、金屬離子、微顆粒和雜質(zhì)，接著使用化學(xué)溶劑和水進(jìn)行拋光處理，從而保證精確的成品率。在整個(gè)集成電路生產(chǎn)線中，每道工序的前后都離不開晶圓清洗，這約占總生產(chǎn)時(shí)長的1/3 。對(duì)于競爭激烈的集成電路晶圓制造業(yè)務(wù)，制造商們格外追求精度、效率的優(yōu)化。
系統(tǒng)需求
一家服務(wù)于中國臺(tái)灣一家知名的半導(dǎo)體制造商的系統(tǒng)集成商，因?qū)で缶A檢測精度更優(yōu)、配置時(shí)間更短的解決方案和研華達(dá)成了合作。晶圓從晶盒中取出之后、完成清洗之前還有一個(gè)步驟，即使用機(jī)械夾持裝置對(duì)晶圓進(jìn)行重定位。但這導(dǎo)致了檢測效率下降。此外，還有一個(gè)關(guān)鍵風(fēng)險(xiǎn)，即夾具接觸晶圓會(huì)導(dǎo)致的開裂，造成耗損，降低晶圓良率。
研華的機(jī)器視覺解決方案將替代機(jī)械定位設(shè)備，能在晶圓不受到任何損壞的同時(shí)，僅在毫秒之間就將其精確地重新定位。
項(xiàng)目應(yīng)用
該項(xiàng)目中研華將AIIS-3411和1個(gè)內(nèi)置AIIS-1882（可選）光源控制模塊以及DAQNavi開發(fā)套件集成在一起，使用戶能夠在實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量圖像捕獲的同時(shí)，以最優(yōu)的成本效益和最簡單的部署來實(shí)現(xiàn)機(jī)器視覺解決方案。 AIIS-3411搭載了AIIS-1882光源控制模塊,最大程度上減少了總成本支出和設(shè)備穩(wěn)定，包括減少布線數(shù)量、空間、費(fèi)用。晶圓移動(dòng)到主軸進(jìn)行清潔之前，搭載光源燈和四路POE攝像機(jī)的緊湊型專業(yè)視覺工控機(jī)AIIS-3411P將發(fā)揮作用。
在擺放工位，使用實(shí)時(shí)照明功能精確判斷晶圓的中心位置和檢測任何翹曲，精準(zhǔn)的判定晶圓的角度精度并高效的將晶圓擺放到清洗主軸。 此外，研華科技作為美光科技工業(yè)商數(shù)(IQ)合作伙伴，保持著密切的合作關(guān)系。合作涉及可靠性設(shè)計(jì)、QA測試、延長產(chǎn)品使用壽命和強(qiáng)固設(shè)計(jì)等多個(gè)項(xiàng)目。 在這一項(xiàng)目中，搭配采用美光2個(gè) 260-pin DDR4 SODIMM 3200 MHz (高達(dá)32GB /插槽) 內(nèi)存模塊, 使AIIS-3411能夠進(jìn)行數(shù)據(jù)高速率速率傳輸，性能穩(wěn)定，滿足高性價(jià)比的需求。
項(xiàng)目架構(gòu)圖
研華優(yōu)勢
研華視覺解決方案將晶圓清洗時(shí)間從幾秒縮短至幾毫秒(ms)，并確保精確的拾取和放置以避免晶圓損壞。方案中使用的高性能零延遲內(nèi)制光源控制器是專業(yè)視覺檢測的高性能分析平臺(tái)，高性能運(yùn)算和高精度定位讓晶圓高速的進(jìn)入到后制程。
（該解決方案包含具有零延遲的高計(jì)算視覺分析平臺(tái)和光源控制裝置，可執(zhí)行高速率晶圓尺寸計(jì)算和中心位置測量）。
這一智能視覺定位解決方案將晶圓清洗流程轉(zhuǎn)變?yōu)楦悄艿膬?yōu)化流程，幫助IC制造商提高了生產(chǎn)良率和效率，保持其半導(dǎo)體制造業(yè)的領(lǐng)先地位。
產(chǎn)品亮點(diǎn)
視覺控制一體機(jī) AIIS-3411
●尺寸小不占空間
●接線精簡，提升信賴性
●減少多個(gè)供貨商溝通成本
●與主流相機(jī)模塊 Basler, Flir, and Teli等品牌相兼容
●PoE i210AT 控制芯片與多數(shù)主流視覺軟件適配性佳
●符合IEEE 802.3af (15W/ port, 30W for 1 & 2 port, max. 60W)
●USB 3.0 輸出功率 4.5W
光源控制模塊 AIIS-1882
●4通道光源控制搭配4組實(shí)時(shí)光源觸發(fā)
●12VDC/1A (AIIS-3411供電); 24VDC/2A max. （外接24V適配器）
●PWM光源控制
●12-ch 數(shù)字輸入 & 16-ch 數(shù)字輸出 w/ 2500VDC 隔離保護(hù)
●搭配研華 DAQNavi 軟件進(jìn)行參數(shù)設(shè)定
