凌華科技PCIe-833x運動控制卡在晶圓AOI檢測中的應(yīng)用
發(fā)布時間：2023-11-17 www.dzsex.cn
晶圓AOI檢測設(shè)備，使用線掃描相機(jī)，沿X方向?qū)A上的每個晶粒進(jìn)行掃描，同時在掃描到每個晶粒時，相機(jī)會在Z方向做上下的微調(diào)整，用于準(zhǔn)確地對焦。當(dāng)一行掃描完成后，相機(jī)會在Y方向移動到下一行晶粒，繼續(xù)之前的動作，直到整個晶圓掃描完成。
PCIe-833x EtherCAT運動控制卡介紹
凌華科技PCIe-833x是一款基于硬件的EtherCAT運動控制卡，能夠同時支持多達(dá)64個同步軸和超過10,000 個I/O 點。PCIe-833x具有專用的隔離緊急停止輸入(EMG) 和可配置的隔離高速數(shù)字輸入，不僅具有通用傳感器輸入，而且具有高達(dá)1MHz 輸入頻率的脈沖輸入。
在250μs 的最小通訊周期內(nèi)提供最佳的抖動控制，優(yōu)化半導(dǎo)體、電子制造等自動化應(yīng)用領(lǐng)域的同步I/O 性能。
PCIe-833x產(chǎn)品特性
●通過EtherCAT 可實現(xiàn)多達(dá)64 軸的運動控制和10,000 個I/O 點控制
●EtherCAT 控制周期高達(dá)250μs
●兼容大多數(shù)EtherCAT從站
●專用的緊急停止輸入
●板卡自帶4通道隔離數(shù)字輸入/4通道隔離數(shù)字輸出
●單通道脈沖輸入
●針對軌跡應(yīng)用的點表功能
●支持最高達(dá)16D直線插補，3D圓弧插補和3D螺旋插補
●對于獨立的應(yīng)用，提供8個程序可下載功能
●支持從站ID設(shè)置
晶圓AOI檢測
晶圓AOI檢測功能需求
1）兩軸插補功能。
2）2D觸發(fā)功能（在掃描過程中，相機(jī)在Z軸方向做上下對焦動作）。
PCIe-833x解決方案：
1）兩軸插補中使用PT功能，客戶可以指定在同一個時間點X及Z的位置，以及相關(guān)各軸的速度，用到的函數(shù)和語法如下，
APS_pt_motion_add_point
Syntax: C/C++:
I32 APS_pt_motion_add_point ( I32 Axis_ID, I32 ArraySize, F64 *PositionArray, F64 *TimeArray ); Visual Basic: APS_pt_motion_add_point(ByVal Axis_ID As Long, ByVal ArraySizeAs Long, PositionArrayAs Double, TimeArrayAs Double) As Long
APS_pt_motion_get_status
Syntax: C/C++:
I32 APS_pt_motion_get_status( I32 Axis_ID, I32 *FreeSize, I32 *PointCount, I32 *State ); Visual Basic: APS_pt_motion_get_status (ByVal Axis_ID As Long, FreeSize As Long, PointCountAs Long, StateAs Long) As Long
APS_pt_motion_start
Syntax: C/C++:
I32 APS_pt_motion_start (I32 Dimension, I32 *Axis_ID_Array, I32 Enable ); Visual Basic: APS_pt_motion_start(ByVal Dimension As Long, Axis_ID_Array As Long, ByVal Enable As Long) As Long
APS_pt_motion_reset
Syntax: C/C++:
I32 APS_pt_motion_reset (I32 Axis_ID); Visual Basic: APS_pt_motion_reset (ByVal Axis_ID As Long) As Long
調(diào)試界面如下，
2）2D觸發(fā)功能
2D觸發(fā)功能通過外接ECAT-TRG4 4通道高速位置比較和觸發(fā)模塊實現(xiàn)，ECAT-TRG4 是 EtherCAT從端模塊，具有高速位置比較觸發(fā)和編碼器單個信號中繼功能，該模塊的規(guī)格如下，
●4 通道點表觸發(fā)-最大10 MHz帶FIFO 255 點
●4 通道線性觸發(fā) - 最大10MHz
●4 通道位置鎖存 - 最大3 MHz帶 255 點
●硬件緊急停止接口
●通過主站最多支持 32 組龍門功能
●軸參數(shù)的斷電記憶
●支持編碼器信號中繼功能
●支持高級點表
需要用到的函數(shù)和語法如下，
APS_set_field_bus_multi_trigger_table
Syntax：
C/C++：
I32 APS_set_field_bus_multi_trigger_table( I32 Board_ID, I32 BUS_No, I32 MOD_No, I32 MTCmpCh, I32 Dimension, MCMP_POINT *DataArray, I32 ArraySize , I32 Window );
APS_get_field_bus_multi_trigger_table_cmp
Syntax：
C/C++：
I32 APS_get_field_bus_multi_trigger_table_cmp( I32 Board_ID, I32 BUS_No, I32 MOD_No, I32 MTCmpCh, I32 Dimension, MCMP_POINT *CmpVal );
APS_get_field_bus_multi_table_cmp_remain_count
Syntax：
C/C++：
I32 APS_get_field_bus_multi_table_cmp_remain_count( I32 Board_ID, I32 BUS_No, I32 MOD_No, I32 MTCmpCh, I32 *Cnt );
凌華科技為智能制造用戶提供一站式解決方案，實現(xiàn)生產(chǎn)設(shè)備之間的互聯(lián)互通，全面共享和交互內(nèi)部數(shù)據(jù)，從而優(yōu)化生產(chǎn)流程，更好地應(yīng)對市場需求的變化。
用戶可通過PC端的編程環(huán)境，在單個硬件平臺上實現(xiàn)應(yīng)用程序的集中控制，從而降低成本，提高系統(tǒng)可靠性和安全性。